CS -4| 4" 精密I-V測試測量探針臺系統(tǒng)
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◆特點(diǎn)/應(yīng)用
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| ◆臺體規(guī)格 | |
| 尺寸 | 4英寸/6英寸 |
| 水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
| X-Y移動行程 | 4英寸*4英寸 |
| X-Y移動精度 | 10微米 |
| 樣品臺Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
| 樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
| 針座平臺 | U型針座平臺，最多可放置6個探針座 |
| 背電極測試 | 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
| 外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*500mm高 |
| 重量 | 約25千克 |
| ◆光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X |
| 移動行程 | 水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm |
| 光源 | 外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 |
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
| ◆探針座 | |
| X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移動精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
| 線纜 | 同軸線/三軸線 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
| 針尖直徑 | 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
| 針尖材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 |
| ◆可選附件 | |
| 加熱臺 | |
| 顯示器 | |
| 轉(zhuǎn)接頭 | |
| 射頻測試配件 | |
| 屏蔽箱 | |
| 光學(xué)平臺 | |
| 鍍金卡盤 | |
| 光電測試配件 | |
| PS:探針臺可根據(jù)客戶要求定制。 | |
| 規(guī)格及設(shè)計如有更改，恕不另行通知。 | |
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