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氣體放電與等離子體診斷儀

SSV-40型氣體放電與等離子體診斷儀由東北大學(xué)真空與流體工程研究所教授團(tuán)隊研究開發(fā)，面向全國各高校。 整套設(shè)備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)等部分組成。 朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調(diào)節(jié)。