壓電馬達(dá)，納米級(jí)位移臺(tái)
壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)特點(diǎn)： 1、長(zhǎng)行程，理論上無行程限制 2、超高精度，可迖10納米 3、無回程間隙，具內(nèi)秉剎車功能 4、無磁，無油，無電磁干擾，真空兼容 5、快速，速度迖300毫米/秒 6、超薄設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊
